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陶瓷手臂具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨、絕緣等性能,可長期在高溫、真空以及具腐蝕性的氣體環境中使用,廣泛應用于各種半導體生產設備。
我公司生產的陶瓷手臂選用高純度陶瓷原料,經冷等靜壓成型、高溫燒結和精密加工而成,尺寸精度可達±0.001mm,光潔度可達Ra0.1,使用溫度最高可達1600℃。我公司采用獨特的陶瓷粘結技術,經粘結后的中空陶瓷手臂使用溫度最高可達800℃。
可選用的材料有:氧化鋁、氧化鋯、碳化硅、以及防靜電陶瓷材料。